无尘车间是洁净度等级为百级无尘车间、千级无尘车间或万级无尘车间的环境,通过特定的技术和设备,把空气中所含的各种悬浮粒子去除到一定的标准,从而达到生产环境洁净度等级要求。无尘车间是一个综合的系统,它主要由空气过滤、送风、温度、湿度、洁净度、磁场屏蔽(隔离)等多种技术和设备组成。洁净室(区)空气中各粒子数应符合《无尘厂房设计规范》(GB50072-2005)中有关规定。由于现代电子工业,半导体工业的迅猛发展,电子产品更新换代的速度也越来越快。为了适应这种发展速度,各电子行业都要从设计、生产到检测等方面严格控制。只有这样才能满足产品的质量要求,从而达到更高的经济效益。
无尘车间根据洁净级别不同分为百级、千级和万级三种类型。不同的洁净级别对空气中污染物含量有着不同的要求,所以洁净室(区)内必须设置空气过滤系统,净化设备可采用空气过滤器、高效送风口、高效过滤器送风口等。
无尘车间常用的过滤器材有高效过滤器(如 HEPA)、过滤器等级分为百级无尘车间和千级无尘车间,这里就不一一介绍了。
净化级别
洁净室(区)内的空气必须通过相应的过滤系统除去灰尘和细菌等微粒,然后经回风系统重新送入室内,以达到高效率、低能耗和长寿命。为此,必须设置空气净化设备,使空气中各种微粒杂质的浓度符合一定的要求。
根据不同的洁净度要求,又将其分为百级无尘车间、千级无尘车间和万级无尘车间三个等级。洁净度等级越高,洁净度等级越低。如果是特殊的无尘室(如特殊微生物实验室)或要求较高的洁净室(如半导体芯片生产车间),则其洁净度应达到十万级。
洁净级别
洁净级别的划分是根据空气中各种微粒浓度的大小来划分的,其主要是通过空气中尘埃粒子的直径来区分。
一般认为大于0.3微米的微粒称为大微粒,0.3至0.5微米称为中微粒,0.5至1.0微米为小微粒,1.0以上称为超小微粒。
不同级别的洁净室对空气中各种悬浮微粒的要求不一样,因此,无尘车间常按空气中各微粒浓度来划分洁净级别,将空气中各微粒浓度较低的洁净区称为百级洁净区。
无尘车间的定义
无尘车间的定义是:无尘车间是指在一定的空间范围内,通过对空气和室内气流组织、传播媒介以及物理环境的控制,使室内空气中的微粒(包括粉尘)达到一定要求的洁净度等级的环境,即百级无尘车间、千级无尘车间。
无尘车间主要用于微电子、半导体、精密机械、生物医药、精密仪器仪表等行业,适用于电子工业:电子产品、集成电路(IC)及电子元器件(IC)的制造及测试,如:微电子净化车间,集成电路生产线,半导体封装测试车间,高纯电子气体生产车间;生物医药:生物制药生产线,医疗器械生产车间,生化药品生产车间;精密机械:精密仪器设备及零部件的生产厂房;高纯气体检测实验室等。
无尘车间的净化方法
无尘车间的净化方法一般采用集中式、混流式三种。根据无尘车间的不同要求,可采用净化空调系统,即“预过滤+高效过滤器+初效空气过滤器+中效空气过滤器”净化处理,或“预过滤+中效空气过滤器+高效空气过滤器”净化处理。此外,也可以采用风机过滤系统(也称送风系统)。
无尘车间等级的选择
无尘车间的等级选择是一个综合问题,要根据生产工艺、净化程度、车间面积和投资来考虑。
1.净化程度:当无尘车间的净化程度较高时,则可采用较高等级的净化方式,反之则应采用较低等级的净化方式。
2.生产工艺:无尘室一般适用于精密、复杂和特殊工艺生产过程,如锂电池无尘车间、摄像头行业净化车间、生物制药GMP净化车间、医药器械GMP净化车间、食品饮料QS净化车间等生产车间。
3.净化级别:无尘车间分为四个级别,分别为百级、千级、万级和十万级。