FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。
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